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鍺烷特氣系統在半導體集成電路中的作用

　　隨著信息時代的不斷進步，半導體等電子行業越來越重要，其中，電子氣體作為電子行業支撐性原料，其質量決定了電子產品的性能。鍺烷就是一種重要的電子工業用原料氣體，是制造高純鍺和各種硅鍺合金的重要原材料，同時，因其危險的氣體性質，供氣和使用都需通過特氣系統來實現。

　　什么是鍺烷？

　　鍺烷（GeH4）是一種無色、劇毒、可自燃、非腐蝕性氣體。關于鍺烷的氣體性質，熱穩定差，較高溫度時（大概280℃）會分解成鍺和氫氣；自催化性很強，易發生分解爆炸，危險性很高！

　　鍺烷的用途

　　鍺烷（GeH4）是制造高純鍺和各種硅鍺合金的重要原材料，主要用于半導體,光伏太陽能和集成電路行業。比如，在MOCVD（金屬有機物化學氣相沉積）工藝中，鍺烷（GeH4）常和硅烷，通過特氣系統的輸送，作為氣體原材料，生成硅-鍺薄膜。

　　在半導體集成電路電子器件制造中，鍺烷作為硅-鍺(Si-Ge)膜的前驅氣體，參與制造。如在異質結二極晶體管（HBT）中，薄硅鍺層作為二極晶體管的基底生長在硅片上，與傳統的硅二極晶體管相比，硅-鍺HBT在速度、響應頻率和增益上具有明顯的優勢，其速度和頻率響應可以與更昂貴的鎵-砷HBT相比。

　　鍺烷特氣系統的作用

　　作為半導體行業的常用電子氣體，大多都是危險性氣體，如硅烷、鍺烷。這些特殊氣體如果使用普通的的供氣系統，會具有很大的危險，容易導致事故的發生，威脅到生產人員安全。所以需要使用一種對安全性有著更高要求的供氣系統，也就是電子特氣系統。

　　鍺烷特氣系統由鍺烷特氣柜、氣體閥門分配箱VMB、耐腐蝕的316L不銹鋼管路及氣體泄漏監測報警系統組成，主要的作用是保護氣體的純度、安全、提供穩定的氣體壓力和不間斷供氣。

　　以上，就是關于鍺烷及鍺烷特氣系統的簡單介紹，除此之外，鍺廣泛應用與紅外光學、光纖、催化劑、醫藥、食品等領域，而鍺烷是高純單質鍺的重要來源之一。

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